日本SUNX晶圓定位傳感器結構小巧、輕盈型

日本SUNX晶圓定位傳感器結構小巧、輕盈型

工作原理：
利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
基于2段受光元件的高精度位置檢測
M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。

尺寸圖

• 單位mm

日本SUNX晶圓定位傳感器結構小巧、輕盈型

詳細資料：
而LED光源的光具有定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
實現0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置檢測
可從四個方向引出電纜
傳感器可以從正前方、右側、左側、下方四個方向引出電纜。可根據傳感器的設置情況靈活調節。
可從四個方向引出電纜
內置放大器的小巧、輕盈型
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進深50mm，約為75g的小巧、輕盈型。
以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會從加載口內側穿過FOUP直射操作人員，十分危險。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。